»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 20ÀÏ °æ±â ¼ö¿ø »ó»ýÇù·Â ¾ÆÄ«µ¥¹Ì ±³À°¼¾ÅÍ¿¡¼ '¹ÝµµÃ¼ Å×Å© ¼¼¹Ì³ª'¸¦ °³ÃÖÇß´Ù°í 22ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Å×Å© ¼¼¹Ì³ª´Â ¹ÝµµÃ¼ Çù·Â»çµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÃֽŠ±â¼ú Æ®·»µå, ¾÷°è µ¿ÇâÀ» °øÀ¯ÇÏ°í ±â¼ú ¼ºÀåÀ» Áö¿øÇÏ´Â ÀÚ¸®´Ù.
Áö³ 2019³âºÎÅÍ ¿¬ 2ȸ(»ó·ÇϹݱâ) Á¤±â ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù.
À̹ø ÇϹݱ⠼¼¹Ì³ª ÁÖÁ¦´Â 'Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹æÇâ ¹× Àåºñ Çõ½Å »ç·Ê'·Î, 1000¿©¸íÀÇ Çù·Â»ç ÀÓÁ÷¿øÀÌ ´ë¸é·ºñ´ë¸é ¹æ½ÄÀ¸·Î Âü¿©ÇÑ °¡¿îµ¥ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ Çõ½Å »ç·Ê¿Í ¼ºÀå ±âȸ µîÀ» °øÀ¯Çß´Ù.
ÇØ´ç ÁÖÁ¦´Â ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀç·ºÎÇ°·Àåºñ) °æÀï·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ ¹ßÀüÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ºÐ¾ß¸¦ °øºÎÇÏ°í ½Í´Ù´Â Çù·Â»çµéÀÇ ÀÇ°ßÀ» ¹Ý¿µÇØ ¼±Á¤µÆ´Ù.
±èÁ¤È£ Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø(KAIST) Àü±â·ÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö´Â 'ÀΰøÁö´É(AI) ½Ã´ëÀÇ Â÷¼¼´ë °í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®(HBM) ±¸Á¶¿Í ¼ÒºÎÀåÀÇ ±âȸ'¸¦ ÁÖÁ¦·Î ±âÁ¶ °¿¬¿¡ ³ª¼¹´Ù.
À̼®¿ø »ï¼ºÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽º¼Ö·ç¼Ç(DS)ºÎ¹® ½º¸¶Æ®¼³ºñ±â¼úÆÀ ºÎ»çÀåÀº '¹Ì·¡ ÀåºñÀÇ »õ·Î¿î Æз¯´ÙÀÓ'À» ÁÖÁ¦·Î ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Çõ½Å°ú ÇâÈÄ Àåºñ °³¹ß ¹æÇ⠵ ´ëÇØ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ ¼³·ç¼Ç°ú Àåºñ °³¹ßÀ» ÇØ ¿Â À̼Ö(ESOL)ÀÇ ±èº´±¹ ´ëÇ¥´Â 'EUV Àåºñ ±¹»êÈÀÇ µµÀü ¹× °úÁ¦' °¿¬À» ÅëÇØ Àåºñ Çõ½Å »ç·Ê¸¦, À̰濱 ±¹°¡³ª³ëÀÎÇÁ¶óÇùÀÇü »ç¹«±¹ÀåÀº '¸ð¾ÆÆÕ(ÆÕ ¼ºñ½º ÅëÇÕÁ¤º¸½Ã½ºÅÛ)'¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇß´Ù.
¾ÆÁÖ°æÁ¦=À̼ºÁø ±âÀÚ leesj@ajunews.com
<º» ÄÜÅÙÃ÷ÀÇ ÀúÀÛ±Ç ¹× ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ¾ÆÁÖ°æÁ¦(www.ajunews.com)¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, »Ë»Ñ´Â Á¦ÈÞ¸¦ ÅëÇØ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.>