ÆÄ¿ö¸µÅ©µî·Ï¾È³»
12ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¹ÙÀ̵ç Á¤ºÎ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ÀåºñÀÇ Àü(îñ) ´Ü°è ±â¼úÀÎ ¾×ħºÒȾƸ£°ï(ArF) ³ë±¤Àåºñ µî ½ÉÀڿܼ±(DUV) Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâÀ» Àü¸é ±ÝÁöÇÏ´Â Á¦Àç¾ÈÀ» ±¸»óÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °ü·ÃÇØ ¹Ì±¹ ±¹°¡¾Èº¸È¸ÀÇ(NSC) »êÇÏ ÀΰøÁö´É(AI) À§¿øȸ´Â Áö³´Þ ÃÊ ¿¬¹æÀÇȸ¿¡ Á¦ÃâÇÑ º¸°í¼¿¡¼ "¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Áß±¹°ú °ÝÂ÷¸¦ È®´ëÇϱâ À§ÇØ ÀϺ» ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ µî°ú Çù·ÂÇØ EUV¡¤ArF ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù"°í Á¦¾ÈÇß´Ù. ¹Ì±¹Àº ÀÌ¹Ì µµ³Îµå Æ®·³ÇÁ Á¤ºÎ¿¡¼ ÃÖ÷´Ü ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§ÇÑ EUV Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ±ÝÁö½ÃÄ×´Ù. ArF Àåºñ´Â 5³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬¡¤1§¬´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m)±Þ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ¾²ÀÌ´Â EUV Àåºñº¸´Ù ±â¼ú·ÂÀÌ ¶³¾îÁø´Ù. ÇÏÁö¸¸ 16§¬±Þ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â Áַ ÷´ÜÀåºñ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº´Â Áß±¹ °øÀå¿¡¼ 3Â÷¿ø(3D) ÀûÃþ(V) ³½µåÇ÷¡½Ã¿Í 10³ª³ë±Þ D·¥ °°Àº ¸Þ¸ð¸® Á¦Ç°À» ¾ç»êÇÏ´Â µ¥ ArF Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
EUV ³ª DUV³ª ¾îÂ÷ÇÇ ASML µ¶Á¡¿¡ °¡±î¿î ÀåºñµéÀÌ¶ó¼ ¹Ì±¹ÀÌ ¼öÃâ±ÝÁöÇصµ
³×´ú¶õµå°¡ OK ÇÒÁö .. |
¹Ì±¹ÀÌ °¡Áø ±â¼úÀ» »©°í¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸ø¸¸µç´Ù°í ¾Ë°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
EUV Àåºñ ¸¸µé¶§µµ ¹Ì±¹ÀÇ ±â¼úƯÇ㸦 »ç¿ëÇÒ °Ì´Ï´Ù. Áï, ¹Ì±¹ÀÌ ÀÚ±â³× ±â¼úÀ» »ç¿ëÇؼ ¸¸µå´Â ¸ðµç Àåºñ, ¿Ï¼ºÇ°¿¡ µýÁö °É¸é ´Ù °É¸³´Ï´Ù.
±×°Íµµ ±×°ÅÁö¸¸, ¹Ì±¹ÀÌ ÇÏÁö ¸»¶ó°í Çߴµ¥ Çß´Ù°¡... ¹«½¼ ºÀº¯À» ´çÇҶ󱸿ä. |
³»ÀÏ ¶Ç Æø¶ô ¿¹°¨À̳׿ä. 1,2À§ ºüÁö¸é ´Ù Áö¼ö ¾öû ±î¸ÔÀ» ÅÙµ¥ Å«ÀÏÀ̳׿ä. |
Àú°Å ¹Ì±¹¹ßµµ ¾Æ´Ï°í.... À͸íÀÇ °ü¸®¶ó°í ÇÏ´Â°Ô ¿µ...
±â»ç ³»¿ë ÀÚ¼¼È÷ º¸¸é Áö±Ý ¹ÝµµÃ¼ ¸®´õ Àçµå·¡°ïÀÌ ¾ø¾î¼ ¹®Á¦´Ù. ¾ó¸¥ º¹±ÍÇØ¾ß ÇÑ´Ù ÀÌ·± ±â»çÀÎ °Í °°´øµ¥¿ä. ³ªÁß¿¡ ¹Ì±¹¿¡¼ ¹ßÇ¥ÇÏ°í ±× ³»¿ëÀÌ ¾î¶²°¡¿¡ µû¶ó¼ ¾ÇÀçÀÎÁö ¾Æ´ÑÁö ¾Ë ¼ö ÀÖÀ» °Í °°³×¿ä. |